公告本公司取得美國專利局核發US 9864363專利

1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:製程控制方法與製程控制系統2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:107/01/093.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 210,9264.其他應敘明事項:一種製程控制方法，適用於對批次的多個晶圓進行沉積製程，包括：根據機台的歷史資訊與批次的產品資訊來決定批次的晶圓的擺放位置；根據批次的晶圓的擺放位置與機台的歷史資訊來求出各擺放位置的目標值；根據機台的歷史資訊、批次的產品資訊以及各擺放位置的目標值來求出製程參數；以及根據批次的晶圓的擺放位置與製程參數進行沉積製程。