公告本公司取得美國專利局核發US 9842870專利

1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:具有奈米腔的集成生物感測器及其製作方法2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:107/01/123.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 107,8234.其他應敘明事項:一種生物感測器，包含有一基底，其上設有一光感測區。在基底上設有一第一介電層、一擴散阻擋層、一第二介電層。第二介電層中設有一溝槽凹陷結構，其內設有一濾光材料層，被一上蓋層封蓋住。上蓋層上設有一第一鈍化層以及一奈米腔結構層，其中於奈米腔結構層中，設有一奈米腔。於奈米腔的側壁及底部設有一第二鈍化層。