公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I530987專利

1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:圖案形成方法2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:105/04/213.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$41,2004.其他應敘明事項:一種圖案形成方法，包括下列步驟。提供晶圓，晶圓包括多個晶圓內部晶粒與多個晶圓邊緣晶粒。在各晶圓內部晶粒上形成第一圖案，且在各晶圓邊緣晶粒上形成第二圖案，其中第一圖案的形成方法包括進行至少兩次曝光製程，第二圖案的形成方法包括進行上述至少兩次曝光製程中的至少一次，且形成第二圖案所進行的曝光製程次數少於形成第一圖案所進行的曝光製程次數。