光電半導體設備 瑞耘技術領先

瑞耘科技創立於1998年3月，提供國內外半導體、微機電、LED、通訊、平面顯示器、太陽能光電等產業設備及製造客戶最先進的技術整合方案。目前已成為全球半導體廠及先進設備客戶的關鍵零組件的共同開發及代工的重要夥伴。

該公司的主要零組件產品涵蓋Etch、CVD/PVD、CMP、Diffusion等製程設備的關鍵零組件製造，如「上下電極」、「晶圓夾持環」、「高真空腔體」、「氣體擴散頭」、「腔體保護襯套」、「晶圓加熱器」、「靜電吸盤」等，並提供其維修及清洗服務。

在設備系統產品方面，歷年來陸續完成了晶圓旋乾機（Spin Rinse Dryer）、晶圓蝕刻清洗機Spray Acid Tool（SAT）/晶圓光阻清洗機Spray Solvent Tool（SST）、晶圓旋轉塗佈機（Spin Coater）及研磨液供應系統（Slurry Supply System）等設備的研發、製造和銷售。在靜電吸盤方面，從累積豐富的生產製造與檢驗技術，開發出最佳化的靜電吸盤解決方案，不僅可使用在半導體行業，其特殊設計亦可應用在絕緣體及多種材料。（楊連基）