LED業迎春 晶粒廠齊擴產 Chip製程設備商 雨露均霑 |洲磊科技

ED磊晶廠今年大規模擴產，一場史上最熱鬧的軍備競賽已經展開

，各家設備商均欣喜迎接大多頭市場來臨，且外商及本土業者都

將雨露均霑。

MOCVD 機台是晶粒廠製程的最上游，和最夯的設備。依各家資

料顯示，今年國內業者對MOCVD的需求合計至少達200台。業界

龍頭晶電的手筆最為驚人，採兩岸同步擴產，將各增購30台

MOCVD；真明麗、聯勝光電及隆達也有30台的規模；此外，璨

圓25台，鼎元26台，奇力光電10台，洲磊至少也有3台。

MOCVD及雷射切割機供應商目前均以外商為主，而Chip生產設備

，本土設備業者過去長期鑽研經營，性價比極具優勢，加上累積

可觀實績，取得與LED生產廠商更緊密結合的機會，以共創雙贏

。

高亮度LED Chip製程設備之本土供應鏈中，最引人注目的亮點包

括：崇文科技向來為ITO鍍膜、金屬電極鍍膜、晶圓鍵合設備的技

術領導廠商；而在GaN台階蝕刻、 PSS圖案化襯底蝕刻設備、等

離子保護膜PECVD設備，崇文科技也是替代進口的最佳供應商。

提到黃光製程的上光阻、烘烤及曝光設備，第一好手則非科毅科

技莫屬；千謄半導體在溼蝕刻設備最為拿手；擴散爐及退火設備

則是陵勝的專長；傑斯奧擅長上臘、研磨及拋光設備，長洛是點

測與分選設備的大廠。