漢民與台積電攜手研發22奈米製程

本土半導體設備大廠漢民深耕製程設備，並持續往先進製程發展

，旗下漢民微測的電子束(e-beam)掃描檢測設備以及漢辰的離子

植入機(implant)，繼打入台積電32奈米製程供應鏈後，目前也與台

積電合力投入22奈米製程研發。

漢民董事長黃民奇表示，製程設備的研發耗時多年，雖然32奈米

與22奈米製程都尚未進入量產，不過漢民微測的電子束掃瞄檢測

設備都已能與客戶進入研發階段。

漢民微測(HMI)指出，電子束掃瞄檢測設備已打入台積電、聯電、

力晶、瑞晶、三星電子(Snasung Electronics)及東芝(Toshiba)等大廠

供應鏈，全球已出貨35台，主要集中在亞洲地區，主要競爭對手

為科磊(Kla-Tencor)。

漢民微測也開發出電子束光罩檢測機，應用於22奈米以下製程光

罩檢測，預估未來半年內將出貨2台。

漢辰(AIBT)則指出，離子植入機於2年前打入台積電供應鏈，由於

台積電的成功案例，因此許多晶圓代工廠也找上門來，包括Global

Foundries也欲導入40奈米製程中。

黃民奇也表示，目前對18吋晶圓暫時沒有正面看法，主要由於半

導體產業容易產能過剩，若進入18吋世代，恐怕會讓產能過剩的

情況更明顯，而且投資金額太高，更漢掌控產能。現在半導體產

業最需要的是將既有的技術瓶頸打破，降低生產成本。對未來景

氣看法，黃民奇表示晶圓代工廠近期表現不錯，DRAM價格也回

升，因此看來2010年市場審慎樂觀，但由於業界對投資仍然保守

。

在新能源部分，黃民奇看好LED市場，較太陽能更具有能源相關

特性，雖然目前還有一些瓶頸，但突破後帶來的商機將相當龐大

，而對太陽能市場還在觀察中。

黃民奇向來倡議提升半導體設備本土化，旗下漢辰與漢民微測經

營多年，終開花結果，在個別專精領域，甚至勝過國際設備大廠

，獲得半導體大廠青睞，站上國際舞台，也為許多台系設備廠的

學習典範。