耀群 科技業優質技術顧問 引進多種微汙染量測器 為品質把關

耀群科技是無塵室、超純水系統專業測試的領導者，專業於廠務

製程系統整合工程，引進多種國外先進的微汙染量測儀器，提供

技術應用服務。其團隊來自相關研究機構及產業界廠務、品保領

域，為科技業優質技術顧問。

以代理的美國HACH ULTRA ANALYTICS為例，是全球最大微粒子

偵測系統Particle Counter供應商，品牌包括MetOne、ROYCO、

HIAC、HYT、PMS，分別供應無塵室(class1~10K)、室內空氣品質

、高壓氣體、Hepa/Ulpa洩漏量測及監控系統(FMS)、線上超純水

DIW系統、線上製程化學品溶液、高粘度光阻及各式油品含潤滑

液溶劑、真空製程設備CVD等與Particle量測相關的專業服務。

HACH的客戶遍及全世界各知名業者，在台灣就包括了鴻海富士康

集團各公司，所有半導體、面板、生技製藥業大廠、工程公司及

中科院、工研院等研發單位、加上華航、航發中心、核能廠、衛

生疾病管制局、國防醫學院與台大醫院等，交機數量超過600台。

該公司受到HACH ULTRA原廠肯定，授權為台灣獨家代理；工程

師都至原廠受訓，不斷提升專業技術，更有原廠常駐資深應用人

員提供原廠技術支援、維修校正服務，這是其他同業所沒有的。

此外，耀群引進Anatel UP-100/UP-50廠務端超純水線上微粒潔淨

監控，上游純水供給端或清洗機台管路內(On-line)及桶槽內

(Off-line;需PUMP )的particle量測，均可代測及提供設備。可即時監

控液體中particle的改變，了解供給端或使用端的潔淨度，測試範

圍由0.1 ~ 5.0um。

該公司其他的產品有：ESD靜電量測設備、TSI風速計、Rotronic

溫濕度計等。 ASYS KTC UV Particle 表面微粒子檢測機對曝光機、

顯影機及偏光板貼附機台效果最為顯著，製程機台上的有機物質

、油漬、水漬、帶靜電Paricle、毛屑、纖維及膠類物質Particle皆

可觀察。

耀群在新竹、台南及蘇州均建立完整的儀器校驗及維修中心，順

應市場需求及趨勢，與客戶建立長期合作夥伴關係，建立完善的

諮詢及售後服務系統。