工研院環安中心與巨路公司簽約開發半導體製程設備進階監控技術

鉅亨網記者張大勇／新竹科學園區． 2月 8日 02/08 16:54

財團法人工業技術研究院環境與安全衛生技術發展

中心與巨路國際股份有限公司於2001年 2月 9日正式簽

約合作，以巨路公司在程控領域資訊整合的經驗與技術

，及與台灣各大半導體廠的合作關係，結合環安中心在

進階程序控制 (APC)研發的成果，共同合作開發應用在

實際生產線上的系統，使臺灣的半導體產業能在競爭激

烈的國際舞台上，保有產業競爭優勢。

工研院環安中心指出，自民國86年度起即在經濟部

技術處科技專案的支持下，重點性投入「製程異常偵測

與安全監控技術」之研發工作，近期已獲致初步的成果

，並可直接在半導體廠的機台上應用實施。為了加速協

助台灣的半導體產業應用此一技術，工研院環安中心與

巨路國際股份有限公司合作，開發半導體製程設備進階

監控應用技術。

半導體製造廠引入 APC技術可獲致下列投資效益包

括，1.降低製程或設備異常所導致之報廢晶片數；2.由

系統即時偵測並診斷機臺失誤，正確掌握停機時機，並

進行維護工作，以減少非預期停機與報廢晶片之損失，

增加產品良率；3.減少製程變異，改善 Cpk，達到品質

提升之目標；4.透過製程與設備即時狀態監控，達到預

測性維修之目的，減少不必要的設備維修，增加設備利

用率、提升人員操作效率及減少備料成本；5.有效降低

製程與設備異常之危害風險，達到預防性之安全操作目

標。