中華杜邦光罩明年下半年提供0.13微米光罩 |中華杜邦光罩

鉅亨網記者王志煌／新竹科學園區．12月27日 12/27 10:40

配合晶圓代工製程走向0.13微米的趨勢，技術領先

同業的中華杜邦光罩也將於明年下半年提供0.13微米光

罩；而配合12吋晶圓廠將陸續量產，中華杜邦光罩也表

示，技術沒有問題，都在掌握之中。

中華杜邦光罩產品以0.25微米以下光罩為主，其中

0.18 微米佔營收比重50%，0.25微米佔30-35%，另外也

應客戶要求提供0.35微米的低階光罩，0.15微米光罩也

陸續出貨，該公司最大客戶為聯電，佔總營收的 9成以

上。

配合聯電製程技術走向更高階的0.13微米，在杜邦

韓國廠的支援下，中華杜邦光罩目前也積極開發0.13微

米光罩技術，預計明年下半年提供服務。

至於12吋晶圓所需的光罩，中華杜邦光罩表示，初

期的0.15微米製程以 8吋晶圓所需的 6吋光罩就能處理

，這部份的技術沒有問題，也在掌握之中，未來是否以

9 吋的光罩提供12吋晶圓，則仍需觀察。