中華杜邦光罩今年底明年初試產0.13微米光罩 |中華杜邦光罩

光罩技術在台灣同業中居於領先地位的中華杜邦光

罩去年底已試產0.15微米光罩，並於今年陸續出貨，該

公司表示，預計今年底明年初可試產0.13微米光罩。

中華杜邦光罩業務處處長王聲韻表示，公司目前的

產品以0.25微米以下光罩為主，其中0.18微米佔營收比

重近50%，0.25微米佔 30-35%，另外也應客戶要求提供

0.35微米低階光罩。公司最大客戶為聯電，佔總營收的

9 成以上。

王聲韻指出，中華杜邦光罩目前已具備生產0.15微

米光罩技術，更高階的0.13微米光罩則由杜邦韓國廠支

援。為配合代工廠走向0.13微米製程，公司目前正積極

開發0.13微米光罩技術，預計今年底或明年初可進行試

產。