竹科火警 晶圓廠虛驚 |亞東氣體

遠東集團轉投資亞東氣體公司位於竹科新建中廠房昨（19）日上午發生爆炸起火事故，一度造成竹科瞬間供電壓降，晶圓代工廠台積電、聯電、世界先進虛驚一場；力積電廠區則啟動不斷電系統，具體影響待評估。

竹科管理局指出，昨天這起意外使得台電供電線路出現瞬間壓降，造成竹科昨天10時21分電壓驟降0.109秒，降幅為82.6%。這是C級壓降出現電力擾動，因竹科廠商主要機台大多有不斷電系統，台電亦啟動雙迥路供電，對廠商營運大致沒有影響。

竹科管理局指出，亞東氣體昨天發生事故的廠區目前尚未正式供氣，這次火災要待期改善完成，提出復工申請，經審查同意後才得以復工。

台積電與聯電昨日均表示，這次壓降事故對生產沒影響。世界則說，公司部分機台有停機進行檢查，目前已陸續復機中，對生產影響有限。

力積電表示，壓降事故發生後，工廠內有加裝不斷電系統的機台隨即啟動，但未加裝的機台受到約80多毫秒壓降的影響，實際報廢晶圓片狀況還在評估中，但依照過去經驗來看，通常影響不大，預期今天應該都會恢復正常。

亞東氣體指出，昨日傳出火警的是尚在興建中的廠區，不影響產能與營運，竹科氣體供應無虞。