安捷倫推出創新奈米壓痕技術

安捷倫科技(Agilent Technologies Inc.)宣布推出Agilent G200奈米壓痕測試儀平台專用的創新奈米壓痕(nanoindentation)技術。該新技術賦予研究人員前所未有的能力，使其利用奈米壓痕技術，快速、容易對薄膜材料進行基板獨立量測。該技術很適合用來評估軟基板上硬待測樣品的彈性模數，或硬基板上軟樣品的彈性模數(elastic modulus)。台灣安捷倫科技董事長暨電子量測事業群總經理張志銘表示，安捷倫的應用科學家針對存在已久的奈米壓痕測試挑戰，設計易於操作的智慧型解決方案。該項新技術對於各領域正在進行的研究工作，將產生直接影響。使用奈米壓痕技術來評估薄膜材料的彈性模數時，基板的影響是很常見的問題。假如薄膜材料的厚度和基板模數是已知的，則該技術可以從受基板影響的模數量測值萃取薄膜材料的模數。該技術適用於各種薄膜基板系統。Agilent G200是全球最準確、彈性且容易使用的奈米機械測試儀器，利用電磁啟動，在力(force)和位移(displacement)上達到無與倫比的動態範圍。Agilent G200符合ISO 14577標準，可量測楊氏模數(Young’s modulus)和硬度值，並可執行涵蓋10的6次方的變形量測 —從奈米到毫米。