強化太陽光電競爭力 建立國產設備

經濟部工業局，自民國94年起透過再生能源設備產業專案推動及主導性新產品開發輔導計畫，協助國內設備商投入矽晶圓太陽光電產品相關生產設備開發。自94至97年間共輔導了5案主導性新產品開發，成功開發關鍵設備，結合專案計畫推動國內設備商自主投入，97年機台自製能力今年可望大幅提高。相關設備發展如下：聚昌今年推出第二代單晶爐聚昌科技在經濟部工業局主導性新產品開發計畫輔導支持下，與中美矽晶共同研發，成功推出國內第一台太陽能單晶拉晶爐。目前，聚昌正加速改良第一代雛形產品，預計今年將推出更自動化、省能源、高效率、高可靠度的第二代單晶拉晶爐。中部大廠評估研製線鋸機切方機用於切除多晶矽晶碇鑄胚外圍六個表面的胚皮，並依需求將晶碇鋸切成所要的尺寸。國內並無廠商生產切方機，透過專案計畫推動，已有中部放電加工機大廠正評估是否研製單線線鋸機 (Single wire Saw)，以應用於多晶矽晶碇鑄胚外圍六個表面的胚皮；投入開發線鋸機 (或稱多線線鋸機，Multi-wire Saw）；針對太陽電池所需的清洗槽系統，雖仍無製造廠商，但敘豐、弘塑、嵩展等公司都具發展潛力。台達電投入晶片檢測與分級機晶片製造完成後，必須使用晶片檢測機檢驗晶片的厚度、平坦度、裂痕及量測其電阻等晶圓特性，以確保符合客戶需求。台達電已透過工業局主導性計畫，投入晶片檢測與效率分級機開發，並已成功銷售予太陽電池業者。嵩展、均豪、華康發展酸鹼槽太陽電池段設備，嵩展公司於半導體用Batch Type酸鹼槽系統已有豐富經驗，亦已銷售成功多部Batch Type酸鹼槽系統給國內太陽能電池廠使用。但新一代太陽電池設備已轉向使用In-line Type酸鹼槽系統，均豪、華康等公司都已和太陽電池廠接洽，積極投入In-line Type酸鹼槽系統開發。弗倫斯引進日本擴散爐技術擴散爐是執行磷擴散製程的設備，國內Batch Type擴散爐設備，弗侖斯系統公司有能力提供。該公司於台南科學園區，由技術團隊引進日本靜岡科技公司技術，為我國第一家全自動半導體爐管設備製造商，兼營半導體關聯設備翻修及維修服務。帆宣投入PECVD設備開發PECVD設備，是為了在晶片表面鍍上一層抗反射膜，可減少光線被反射回大氣，以提高製造完成後的太陽電池的光電轉換效率。帆宣系統公司在經濟部工業局主導性新產品開發計畫輔導支持下，已投入資源開發PECVD設備，預計可於今年第四季開始對外展示開發完成設備。東遠精技開發全套網印機在矽晶圓太陽電池的製程裡，網印機通常會分成三站，分別是網印鋁膠、銀鋁膠及銀膠，做為電池的導線。我國的東遠精技公司，在經濟部工業局主導性新產品開發計畫輔導支持下，投入資源開發網印機設備，並於今年初正式開始對外銷售。台達電、均豪、廣運研發電池測試機太陽電池製作完成後，必須以模擬太陽光的光源照射，來測試其光電轉換效率，並依據測試結果予以分級，電池測試與效率分級機就是用來執行此一作業的設備。國內台達電、均豪、廣運已投入發展電池測試與效率分級機，未來國內將會有國產的電池測試與效率分級機，可以取代進口。欽揚自動焊串、模組封裝機模組段主要製程設備自動焊串機是太陽電池模組製程的第一道程序「自動焊串」所需之設備，其功能是將一片片的太陽電池晶片的導線焊接起來成為串聯形式。國內欽揚公司表示預期今年第四季可對外展示自動焊串的雛型機。堆疊機是用來將電池、玻璃、EVA、Tedlar等元件組合成模組的設備。國內自動化設備廠、半導體與面板設備廠等，都具有豐富經驗，已有足夠技術基礎來開發這些設備。模組封裝機來將上述元件熱封起來，成為一個單一模組，供系統安裝使用。國內目前有欽陽公司完成模組封裝機，並且已經銷售給太陽電池廠商使用。太陽電池模組完成後，必須以模擬太陽光的光源照射，來測試其光電轉換效率，模擬效率測試機就是用來執行此一作業的設備。國內目前並無廠商可供應此機台，但是台達電有意願進行設計開發。