藍寶石業者搶送專利 攻半導體 |銳捷科技

晶圓雙雄朝2X奈米時代進行，然高階製程線寬的微小化及平坦化，造成20奈米良率卡關，也恐將波及16奈米試產進度，圖案化藍寶石基板(PSS)因圖案化蝕刻排列更整齊及細緻，成為20奈米平坦化最佳解決方案，為藍寶石PSS供不應求情形點火，晶圓廠、藍寶石廠都先後搶送專利，卡位新出海口刻不容緩。

國內具備藍寶石PSS基板生產技術的公司，有銳捷(5256)、兆遠 (4944)，PSS基板生產從黃光曝光、顯影、清洗到蝕刻，與半導體製程相似，其中兆遠早期PSS蝕刻，即是借用聯電(2303)相關無塵室設備生產，並在中美藍晶的加入後，PSS生產有相當優勢，近期傳出也送樣藍寶石碟驗證中，而銳捷以優異的PSS生產品質在業界享有美譽，晶美(4990)則是委由韓廠代工。

其他晶棒廠尚志(3579)、佳晶科(5242)，還有將於5月登錄興櫃的兆鑫，生產4吋PSS基板的漢晶，也看好藍寶石碟應用在半導體領域優勢。