汎銓 完成20奈米IC電路修補 |汎銓科技

為滿足半導體大廠對尖端IC電路修補的技術需求，汎銓科技去年底引進最先進的聚焦離子束機台FEI V400ACE，應用於國內IC設計大廠的最先進20nm IC，今年1月電性測試證實，已率先成功完成20nm製程電路修補，符合客戶預期。

汎銓專注於電路修補服務與技術開發，工程人員穩定度與經驗累積領先同業，以最好的技術、設備及服務來滿足客戶需求。

在材料分析方面，隨著半導體製程演進微縮至20/16/10nm，一般SEM/FIB/TEM影像已無法滿足分析需求，需藉由成份（元素）分析資訊輔助觀察製程缺陷及製程研發改善效果，此需求及依賴性，隨著製程微縮越來越高。

汎銓為此也引進先進設備及軟體，強化元素分佈（element mapping）分析能力。近期購置台灣第一台EDS（Energy dispersive Spectrum）SDD（Solid Drift Detector）150mm偵測器，裝置於高階SEM/FIB，帶來超高偵測效益，並降低元素偵測極限。在輕元素部分，可大幅度改進，提高元素分佈分析空間的解析度達幾十奈米等級，取得更快的分析時效；TEM元素分佈分析能力也不斷提升，符合先進製程開發的需求。

汎銓投資先進機台，為業界領先者，深信維持人員穩定性，才能在專業度領先同業，為客戶滿意的不二法門。除了自豪於員工年薪一直高於同業，離職率低於同業，人員經驗累積與技術傳承，更是汎銓重要的策略與競爭優勢。電話（03）666-3298，網址：www.msscorps.com。