LED發展趨勢與半導體均朝向大晶圓、細線路發展。PSS圖案化加工廣泛應用於LED藍寶石基板,製程與半導體相近,目前2吋藍寶石基板仍為主流,但磊晶廠已積極朝4吋發展。
PSS委外加工是磊晶廠最好的經營策略。華碩在2、4、6吋具有量產能力及不錯良率。李崇維表示,4吋以上將逐漸替代2吋,過去Stepper曝光機主要用於2吋基板PSS,大尺寸(4及6吋)基板因平坦度不佳及翹曲情形,將導致良率問題。
華碩的客戶包括泰谷、清華同方及國際大廠,在4吋的競爭力最強,6吋目最佳良率已達七成以上,具領先地位。華順利用微機電技術,在藍寶石基板或其他材料上長出微結構。
PSS的線路愈小,圖案密集度愈高,LED的光萃取率也同步提升。嘉德晶光電總經理邱正宇表示,從技術觀點來看,目前普遍使用的2*1尺寸不能完全滿足照明需求,1*1尺寸為進階規格,約可提升光萃取率20-36%,此數據已由磊晶廠的回饋資料獲得證實。
研究單位及學界所發表的研究報告指出,採用次微米或接近奈米的PSS技術,最多可提升45%光萃取率效能。只要效能提升達3-5%,業界就會爭取導入量產,1*1尺寸PSS技術因此更具爆發力。
嘉德晶將1*1技術生產的產品命名為高密度圖案化藍寶石晶圓HDPSS,以與同業區隔,邱正宇說
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