阿托科技重資設製程技研中心
阿托科技投資800萬歐元,在觀音工區設立半導體先進製程技術研發中心,供封裝凸塊表面處理、高階載板表面處理,及矽穿孔電鍍(TSV)技術開發使用。阿托科技總經理黃盛郎表示,晶圓堆疊封裝製程(3D package)及3D IC技術,將改變台灣半導體產業的歷史,是未來產業的重要發展趨向。該中心為因應台灣半導體界發展次世代技術而設立,將從原廠引進三條先進設備,包含可應用於8吋及12吋晶圓雙面線路製作及矽穿孔電鍍裝置DSP (Double side plating)及專為下世代微細線路製作所開發之高精度電鍍設備 SBP(Single Board Process)。目前,阿托已與晶圓封裝廠商展開研發合作計畫,先從建立小規模生產的試驗線,再據以放大為量產線。阿托提供整合製程技術、DSP&SBP設備及藥水的完整解決方案,領先競爭對手及同質性產品。早期,該公司只專注在PCB化學製程技術,逐漸轉型以載板及HDI為主力,目前更朝半導體產業挺進;運用其核心的技術,經不斷研發與升級,轉化為晶圓封裝應用。