薄膜檢測標準 提升產業技術價值 |昇陽國際半導體

經濟部標檢局局長陳介山（中）邀請周道炫（左起）、鄒華中、盧守一、邱耀慶、廖峻德、黃添榮、陳伯達、張啟生等專家學者，共同參與「奈米薄膜檢測標準技術論壇」。

■曹松清／記錄、攝影■

奈米薄膜檢測標準技術論壇

時 間：99年12月16日上午

地 點：經濟部標準檢驗局第2會議室

（臺北市濟南路1段4號7樓）

主辦單位：經濟部標準檢驗局

執行單位：工研院量測技術發展中心

主 持 人：經濟部標準檢驗局局長　陳介山

與談專家：成功大學材料系系主任 廖峻德

昇陽國際半導體公司經理 周道炫

友達光電公司經理 邱耀慶

俊尚科技公司總經理 黃添榮

工研院奈米中心經理 鄒華中

汎達科技公司總經理 陳伯達

台灣積體電路公司副理 盧守一

工研院量測中心副組長 張啟生

接軌國際奈米計量標準 帶動產業發展

陳介山：奈米科技融合化學、物理、機械、材料、電子、量測等科技，成為一項整體、跨領域的科技發展，是21世紀最重要的技術領域之一。

由 於是全方位的科技進展，對於應用於基礎產業上精進及發揮，或與尖端科技結合等，有絕佳機會獲致突破性的進展。為使奈米相關產品在生產、製造時，符合一定的 品質，及奈米產品在貿易時符合世界規範，奈米檢測及標準建立的重要性，也與日俱增。未來，奈米檢測對奈米科技發展將持續扮演著關鍵性角色，亦使得奈米檢測 產值潛力無窮。薄膜科技被公認是引領各項產業發展新契機最有機會的一項工具。

為配合國家科技政策與世界發展趨勢，特別是在「永續能源發 展」、「生醫薄膜應用」、「光電產業」等，透過應用薄膜科技於產業精進與突破，不但帶動台灣的產業發展，也帶給國內產業更大的契機和產值。例如，隨著全球 暖化問題日益嚴峻及傳統能源加速耗竭，世界主要國家莫不將「節能減碳」納為施政新思維，發展綠能產業，以營造永續的社會。因此，尋求更快、更低耗能及更微 小的元件，尋求新奈米材料、新製程技術，挑戰IC細微化的極限，一直是全球上IC發展的共同目標。

有鑒於世界各國在奈米技術的投入，及配合國家科技政策與世界發展趨勢，經濟部標準檢驗局，一直持續支持奈米技術標準化的工作。藉由奈米國家型計畫的推動，發展奈米檢測技術平台，建立具良好追溯性的奈米標準與計量技術，以確保我國各項奈米技術研發與規格為國際所認同。

建立具良好追溯性的奈米薄膜標準與計量技術，一直都是標準檢驗局重要的發展目標之一。有鑒於世界各國在薄膜科技的投入，經濟部標檢局在奈米國家型計畫中，繼 第一期的奈米技術計量標準計畫後，繼續委任量測中心執行、進行第二期六年奈米技術計量標準計畫。將以奈米薄膜檢測科技發展為目標，發展重點為「薄膜結構參 數量測標準及參考物質量測技術建立」、「薄膜表面特徵量測標準技術建立」及「奈米薄膜機電/化學特性量測標準技術建立」。藉由計畫的推動，不但影響奈米薄 膜國際標準的製訂，也促進國內奈米技術產業化的發展。

生醫奈米薄膜 提升產品附加價值

廖峻德：隨著薄膜的應用及材料結構奈米化的迅速發展，具特殊性質的薄膜材料已達到產業需求，並進一步產生新的產業應用價值。

然而，要使新的薄膜材料發揮更穩定的物理化學或力學特性，使利於新製程的規劃，則檢測標準化結合奈米製造及分析技術，以量測奈米薄膜材料，對於產品品質的控制有相當大的幫助。

這一方面，「量測中心」已有「奈米標章」的推動且成效也逐年提升中。 另一方面，生醫材料加上奈米尺度結構的薄膜或奈米化結構的表面，近年來已大幅地被使用，預期可增加材料表面的生醫功能性。然而，生醫功能的定性效益較易被凸顯，但不易定量化地描述。

因此，建立生醫奈米薄膜檢測相關技術，可使生醫奈米薄膜的特性與其生醫功能性之間，形成相關性且有定量化的描述。將檢測標準化，就能重覆地製造具有生醫特性的奈米薄膜，有助於產品的製造與推展。目前歐盟架構的計畫中，也在推展此檢測的標準化，以使其境內的產品規格化。

生醫奈米薄膜可以增加生醫產品的附加價值，很多醫學報告也證實其生物相容性可促進生理復原過程。量測中心如能儘速建立生醫奈米薄膜檢測的能力，未來可被引用為量測各式生醫奈米薄膜的準則，對生醫應用領域標準化的開展，絕對可期。

建立薄膜檢測標準平台 提升製程力

周道炫：半導體上成長金屬薄膜為半導體製程中重要之步驟之一，其中半導體/金屬接面之能隙或導電度均會影響元件特性；眾多半導體元件中，晶圓背面常需要一層 導電用金屬薄膜，作為元件之電極中之一，例如功率電晶體(Power MOSFET)、二極體(Diode)、蕭特基二極體(Schottky Diode) 、LED等皆是。

昇陽自2004開始耕耘此一製程以來，突破各項困難，獲致良好成果，目前可以提供國內外知名半導體設計公 司相關功率電晶體所需之製