鑫邦提供多晶矽長晶製程之噴塗、檢測及烘烤設備

鑫邦國際科技自半導體材料研發多年以來，秉持創新研發的精神

，除代理日本Ferrotec單晶爐和多晶爐之外，並跨入長晶整廠技術

研發的領域，不僅能夠自行提供客戶從前段的設備，在後段設備

的研發上也不遺餘力，包含鍍膜所需的水平爐管，都是太陽能業

界所需求的重點客制化設備。

鑫邦團隊對於長晶廠的前段長晶關鍵製程投以大量心血，自行研

發出多晶矽鑄錠系列專利附屬設備，由製程最初始矽原料蝕刻清

洗機，可依各式矽料之酸液、藥水做清洗，更可依照客戶需求設

計，如：清洗機內供酸系統的選擇、乘載槽內槽可依不同矽料設

計不同治具，而各槽也可增設晃動功能，加強洗淨效果。

對於長晶製程最關鍵的坩堝噴塗，鑫邦國際推出嶄新的專利產品

，將坩堝內5面、8點、4線做精密監控噴塗正確性之坩堝噴塗檢測

設備，除檢測噴塗前坩堝素材真平度是否堪用外，在噴塗後、烘

烤後之坩堝膜厚的讀取與膜厚真平度檢測資料儲存在電腦中分析

，協助客戶在製程突破中得以縮短學習曲線。

相較於坩堝膜厚檢測的輔助設備，鑫邦團隊針對坩堝噴塗系統改

良，從以往傳統單點控溫的不均溫現象可能造成的湯洩，改善成

為增強獨立五面加熱器，使其熱擴散均勻且快速加熱坩堝，機構

的設計更能以旋轉式噴塗架方便使用者快速均勻噴塗，當中最關

鍵性的恆溫控制系統，更是使其確保噴塗的氮化矽層能有效乾燥

。

繼噴塗檢測之後，鑫邦更提供了多溫區控制之全面加熱坩堝烘烤

爐，使其坩堝受熱面積均勻能完整地高溫乾燥處理，強化塗層組

織、增加附著力坩堝，鑫邦坩堝烘烤爐最多可至6個坩堝的連續式

處理減少批次時間，在架設對應2台加熱爐時輸送平台共用性高，

同時更增設完善地安全保護裝置。

鑫邦表示，在政府祭出「能源光電雙雄」之後，預估產值將達1

兆1千餘億元，國內太陽能電池產業為因應綠色能源的龐大市場

需求，勢必再度掀起一波熱浪，而鑫邦國際科技除在半導體產業

以材料品質及即時服務廣獲肯定好評外，同時更以創新研發的專

業態度，不遺餘力地深耕於太陽能電池產業，提供客戶系統化設

備的整合設計服務。