鑫邦自行研發水平爐管獲得德國PHOTON太陽能雜誌推薦

鑫邦國際科技除了代王日本Ferrotec單晶爐，和多晶爐設備之外，

同時也跨入長晶整廠技術研發領域，不僅以夠自行提供客戶從前

段原料清洗機，坩堝噴塗設備和坩堝烘烤爐專利技術，及長晶設

備外，在後段設備研發上也不遺餘力，包含晶片蝕刻機台、鍍膜

所需水平爐管，及多晶坩堝膜厚量測儀，和多晶坩堝自動噴塗系

統，都是太陽能業界所需求重點客制化設備。

鑫邦表示，其自行研發水平爐管獲得德國PHOTON太陽能雜誌，

唯一評選為台灣爐管代表，並與國外廠家並列推薦廠家之一，鑫

邦提供客戶水平爐管客製化服務，針對客戶需求製造出水平爐管

多項製程，如Oxide退水製程，讓產品均勻度更好，進而創新研發

LPCVD POLY與LPCVD SIN立式爐管，讓客戶產出良率更高產品。

現階段可讓客戶在Oxide、POLY、SIN、及退火製程上供客戶選擇

，也協助半導體和太陽能客戶，在產品上獲得更均勻沉積層。

此外，鑫邦也針對CELL客戶提出新晶片移動自動化系統，在晶片

不斷輕薄化下，客戶在每個環節耗損，都會是非常關鍵因素。因

此，如何在挑片和移動間，取得最佳自動化的成為客戶研議方向

，也是鑫邦最擅長薄膜製程裡，最常遇到客戶詢問的挑戰，在微

薄專業中為客戶提出最有成本敦益作法。

相對於台灣對於太陽能業界原料後段處理，鑫邦也提出最佳化製

程，提共客戶在純化上更有經濟效益。同時也提供客戶在生產成

本上，控制最佳化方式。在每次生產耗材選擇上，提供最有競爭

力選擇，讓客戶能在最短時間內，提升生產良率和產出晶片效率

。也因此，鑫邦研發出長晶製程標準流程，能將客戶多晶轉換效

率，提升至平均15.8業界標準，在每個環節控制系統，提供客戶

更精密控管系統，並協助提供製程改善訓綀，以利客戶在製程突

破學習曲線縮短上，藉由鑫邦達成最有效率支撐。