HMI缺陷檢測儀半導體大廠肯定

漢民科技董事長黃民奇指出，目前全球20大半導體製造商中，主

要的晶圓代工廠和DRAM廠有一半以上採用漢民微測（HMI）的

E-Beam缺陷檢測儀，2006年曾榮獲台積電Supplier Excellence

Award的高度肯定，由市佔率及客戶的肯定，再次顯現漢民半導體

前段製程設備亮麗的研發成果。

黃民奇表示，漢民科技成功開發華人首創商業化的前段製程設備

並自創品牌-AIBT漢辰科技及HMI漢民微測，分別以離子植入機

iPulsar /iStar及電子束（E-Beam）掃描的檢測設備eScan做為主力

商品，行銷服務據點包括台灣、日本、韓國、新加坡及中國等地

。

HMI自行開發缺陷檢測儀有效提升前段製程效能隨著32奈米以下

製程的來臨，製程複雜度也日益提高，製造商必須朝零缺點的製

程努力，以提升產品良率維持獲利。

台積電製造技術中心處長林進祥表示，設備本土化不僅有助於晶

圓廠降低成本、強化夥伴關係，另一方面也可以提升台灣品牌設

備供應商的市佔率，以及OEM廠商的本土製造能力，可以創造三

贏的結果。

漢民科技網址www.hermes.com.tw。（金萊萊）