漢民離子植入機進茂德 |漢民科技

設備之所在，成本之所在；設備向來是半導體製造商花錢最痛手的地

方，因此半導體設備製造技術一直壟斷在外商手中。不過最近設備代

理大廠漢民科技最近打破外商壟斷局面，送了自製離子植入機進入茂

德中科十二吋廠，消息震動竹科各家設備大廠。

上週茂德在中部科學園區的十二吋廠晶圓廠決定，未來在擴散製程中

，將採用漢民轉投資公司漢辰科技製造的ｉＳｔａｒ離子植入機；由

於離子植入機向來由美商應用材料（ＡＭＡＴ）、瓦利安（Ｖａｒｉ

ａｎ）、亞舍立（Ａｘｃｅｌｉｓ）三大外商所盤據，因此漢辰這次

突破外商防線，進駐茂德廠，設備商方面備感威脅。

由於每台離子植入機造價超過上億元，而每座晶圓廠至少需要八到十

台，業界認為這次漢辰進帳飽飽，特別是代理商品利潤不如自製機器

高，業界認為若行銷情形順利，對公司盈餘貢獻度將提高許多。

漢民與茂德雙方皆不願透露第一階段進駐台數，避免產能資料曝光，

但是業界人士認為，由於茂德中科廠產能設備尚在擴充之中，因此第

一階段可能只有五台以下植入機先進廠，未來一年內才會慢慢補足到

接近十台。

漢辰科技是漢民轉投資的設備製造公司，儘管漢民已經是台灣最大的

幾家半導體設備商之一，代理的日本ＴＥＬ等品牌在市佔率極高，但

是設備代理商一直存在品牌獨立出走的威脅感揮之不去，因此積極研

發設備製造技術。