漢民科技取得荏原精密代理權 負責台灣、大陸地區銷售事宜 |漢民系統

為搶攻台灣ＤＲＡＭ與晶圓代工十二吋ＣＭＰ設備商機，全球第二大

半導體化學機械研磨機台設備商日本荏原精密，近期推出二款九十奈

米製程以下機台，委託漢民科技在台銷售；另外，為加強對大陸客戶

服務，荏原精密也將大陸地區機台銷售業務，正式委由漢民代理。

荏原精密與漢民科技十七日在新竹召開代理合約簽約儀式，以擴大雙

方代理合約的內容，除了增加大陸地區的機台委託銷售外，荏原針對

十二吋半導體廠ＣＭＰ市場商機，新推出了「晶邊研磨機」及「無電

鍍銅導線包覆機」機台銷售與服務，也在此次合約簽定委由漢民代理。

半導體ＣＭＰ機台目前領導廠商是美商應用材料，尤其在十二吋ＣＭ

Ｐ機台市場呈寡佔，荏原製作所常務執行役員暨荏原精密營業統括部

長中尾幸藏表示，台灣晶圓代工雙雄、與外資策略聯盟的ＤＲＡＭ大

廠都持續擴充產能，而台灣的中部科學園區也逐漸地崛起，固有十二

吋ＣＭＰ設備需求恐急。

另外，他進一步表示，將會針對銅製程ＣＭＰ市場，積極去發展新式

的機台。

據指出，荏原的晶邊研磨機台不須使用研磨液，可協助客戶大幅節省

生產成本，而無電鍍銅導線包覆機，更是半導體四十五奈米製程必備

的機台。

中尾幸藏進一步指出，荏原精密目前在全球ＣＭＰ設備市場的市佔率

達三成左右，為了搶攻十二吋銅製程ＣＭＰ機台市場，荏原精密也計

劃進一步擴增日本北九州工廠產能，目前單月大約可交貨三十部十二

吋ＣＭＰ機台，未來擴建的工作完成後，估計十二吋ＣＭＰ機台交貨

能力，將可再提升至單月約達八十台左右。