漢民南科廠 完成首部eScan

甫啟用三個月的漢民公司南科廠，日前已完成首部ｅＳｃａｎ（缺陷

檢測設備）給聯華電子，開啟南科ＩＣ晶圓大廠，採用台製檢具新紀

元。漢民總經理許金榮（右圖，陳惠珍攝）強調，發展本土化科技設

備，台灣在自動化機具與光學檢測領域最具實力，西元二○○八年，

ＩＣ產業高峰期來到之前半年，系統設備產業可望水漲船高。

許金榮投入半導體產業長達三十年，歷任工研院電子所、亦曾任職聯

電與台積電，昨（十）日在一場「從ＩＣ和ＦＰＤ製造業的產業趨勢

看本土設備的發展─ＨＭＩ（漢民）ｅＳｃａｎ的發展經驗」專題演

講中指出，台灣有能力製作半導體用、平面顯示器兩大產業的系統設

備。

他表示，從事ｅＳｃａｎ高科技產業用的系統設備，除了要擁有上千

萬美元的財力，與龐大技術團隊外，最重要的是，要有管理實務，這

些都需要實戰經驗，而非單靠學理知識即可完成，以漢民為例，研發

團隊在美國矽谷，擁有各地菁英，台灣廠從事生產組裝。