漢民晶圓檢測機台 5月起對星客戶出貨 |漢民科技

由半導體設備代理商升級到設備製造層次的漢民科技，其晶圓缺陷檢

測機台 eScan ，繼二○○三年底對北美地區客戶出貨後 ，近期則是首

次自台灣將二部 eScan 機台出貨給新加坡客戶 ，而電子束離子植入機

也自五月開始出貨，漢民科技表示，為強化全球服務能力，漢民在美

國矽谷的子公司漢微及漢辰年初已獲准進駐南科，預計將在二○○五

年正式人員進駐。

漢民約在五、六年前，在美國矽谷投資成立HMI與AIBT，進行半導體

前段製程設備研發，二○○三年中正式推出晶圓缺陷檢測機及電子束

離子植入機，並在二○○三年 Semicon 後開始對部分美國客戶出貨晶

圓檢測機台，而五月初晶圓檢測機台則首次自台灣出貨至新加坡客戶

，估計二○○四年檢測機台將出貨十部，而二部電子束離子植入機也

自五月開始出貨給國內外客戶。

漢民表示，為建立全球化支援體系，已完成驗證多家台灣零件供應商

，零件供應鏈大致建置完成，而在矽谷的二家子公司HMI與AIBT，已

獲准申請近駐南科，該二家公司總部將設在南科，並且成立研發團隊

，將斥資新台幣十億元，在南科打造漢民設備研發、組裝基地，未來

將成為漢民的半導體設備的研發、製造與亞太地區零件庫存、行銷、

業務與服務中心。

漢民二○○三年半導體設備銷售額約二○○億元，二○○四年估計可

增加四○％，據表示，漢民在南科的廠房土木工程將在年底完工，人

員可望在二○○五年正式進駐。另外，除亞太地區客戶外，為擴大經

營歐、美、日本、韓國市場，漢民表示已擇定國外代理商，近月內完

成簽約。