翔準先進光罩預計本月開始量產0.13微米高階光罩

鉅亨網記者王志煌／新竹科學園區． 7月 3日 07/03 12:54

經過長時間的客戶驗證及調整製程、良率，翔準先

進光罩預計本月開始量產0.13微米高階光罩，客戶群將

包括晶圓代工廠及DRAM廠。

定位在提供客戶高階光罩服務的翔準先進光罩今年

上半年0.25微米以下高階光罩佔營收比重已達 70%，其

餘 30%為0.35微米光罩，這也是今年第 1季該公司平均

毛利高達 33.6%的原因，大幅超出台灣光罩(2338)的

25%。

翔準先進光罩為提供客戶更先進的0.15及0.13微米

光罩，繼去年10月引進雷射曝光機台後，今年 3月又購

入一部電子束曝光機，提供完整的0.13微米光罩解決方

案，目前裝機及寫測試片作業已完成，預計本月就可開

始量產。

翔準先進指出，0.15微米只是過渡製程，目前雖有

訂單但量並不大，而0.13微米製程目前仍處於供需失衡

的狀態，加上交期仍長，能供應的光罩廠並不多，能掌

握技術的光罩廠將有很大的市場潛力。