機台交期延　DRAM廠製程微縮絆腳石

2010年台DRAM廠將決戰50和40奈米製程技術，但新製程關鍵恐未必在技術上，而在於浸潤式微顯影(Immersion Scanner)機台設備採購是否能跟上腳步，近期業界傳出瑞晶機台原本2月要交貨，但目前交期已遞延至4月，南亞科和華亞科之前亦傳出機台交貨不及，公司則澄清前期機台已順利拉進來，轉換製程進度一切正常。DRAM廠決戰50和40奈米製程技術最大挑戰是資金問題，其中，機台購置成本佔相當大比重，由於1台機台設備動輒要價新台幣10億元，且每台機器產能約僅1萬片，若1座產能達10萬片的12吋晶圓廠要轉換製程，光是機台支出便高達100億元，因此，大部分DRAM廠2009年都無力轉進50奈米製程。隨著DRAM景氣逐漸復甦，各廠開始為轉進50奈米製程做準備，並針對機台下訂單，由於從下訂到交貨需要很久時間，日前甚至傳出三星電子(Samsung Electronics)將設備廠機台產能都包下，使得其他DRAM廠很難訂到貨，趁機阻礙競爭對手製程微縮進度，儘管台廠與國際大廠聯合採購機台較具優勢，像是南亞科、華亞科與美光(Micron)共同採購，力晶、瑞晶則與爾必達(Elpida)一起採購，但仍不斷傳出交期遞延消息。瑞晶原本2月要到貨的機台已遞延至4月交貨，其計劃第2季將導入45奈米製程；之前則傳出南亞科和華亞科機台交期延後，但公司澄清前期機台到貨時程順利，只剩下後期機台還未進來，但不會影響轉換50奈米製程速度。事實上，瑞晶原評估旗下8萬片12吋晶圓產能轉進50奈米製程需要10台機台，但若轉入45奈米製程，在減少光罩數後，只需要6台機台，公司形容這是窮人版製程微縮產品。爾必達陣營原本2009年評估要導入50奈米製程時，就預定機台設備，但後來決定跳過50奈米，直攻45奈米製程，機台拉貨則同步進行。爾必達和力晶、瑞晶2010年將一舉轉進45奈米製程，爾必達45奈米2009年底宣布量產，瑞晶將在第2季導入生產，2010年底前8萬片產能全數轉進45奈米製程，第1季會先轉2萬片產能到63奈米XS版本試水溫，成本可較目前65奈米製程減少20%。至於南亞科和華亞科正積極轉進50奈米製程，在42奈米製程則將提前1季導入，其係由美光和南亞科共同研發，該陣營對於42奈米製程相當具信心，認為是目前40奈米製程世代成本競爭力最佳者。