提升國產半導體設備自製率,亞泰半導體開發首部國產化學機械研磨機(CMP),並獲得美國六項專利
為提升國產半導體設備自製率,亞泰半導體開發首部國產化學機械研磨機(CMP),並獲得美國六項專利,亞泰目前正與茂德科技技術合作,進行CMP機台運轉測試,由於國產機台較進口機台便宜一半上,亞泰預計自製的機台可佔國內20%以上的CMP市場。亞泰半導體總經理岳鐳表示,CMP機台為半導體製程設備中的新興產品,並成為0.25微米以下製程的標準配備,因此全球每年以50%的速度快速成長,成為半導體設備中成長最快、最具潛力的產品之一。岳鐳指出,目前台灣半導體製程設備需求量僅次於美、日,已成為全球第三大半導體設備進口國,而主要CMP機台製造商則為SPEED FAN、應用材料等國際級設備製造商,而亞泰則為首家製造出半導體前段設備的廠商,目前已將開發完成的CMP機台,送至茂德科技進行實機運轉測試,預計今年可接獲10部CMP機台訂單。由於台積電、聯電等廠商陸續宣布將投入銅導線型程技術、因此亞泰半導體也將於近期增資2億元,藉以研發銅製程所需的CMP設備。