

技鼎(未)公司新聞
光電協進會PIDA表示,LED照明市場已步上穩定期後,台灣LED業者跟隨Philips或Osram等國際大廠的腳步,布局未來高利基產品,如UV/IRLED、工業用防爆燈等技術或產品,以便延伸至生態、醫療、健康、保全等應用領域,進入互聯網相關產業鏈。
PIDA六月主辦台北國際光電周之「台灣LED照明展」特別規畫UV/IRLED專區,台灣LED照明聯盟(TLLiA)由隆達所領軍,晶粒大廠-晶電、光磊、光鋐、旭明;封裝廠-光寶、億光、台灣半導體照明等公司合力展出,展現台灣LED產業堅強產業鏈。
而連袂參加展現同業跨界合作的廠商,如賀喜、太極光等聯盟成員分別呈現路燈、植物燈等創新應用。
設備商包括:長洛、技鼎、阿瑪光電,以及應用廠商軒豊也將共襄盛舉,合力吸引國外客戶,增加台灣LED產業在國際的商機。電洽:(02)2396-7780轉811梁小姐。
展期中PIDA規畫「LED國際研討會」,深入探討UV/IR技術及車用LED等利基型應用等議題。
電洽:(02)2396-7780轉810楊小姐。參觀者預登網址http://www.optotaiwan.com/PreRegistration.aspx;2015年光電產業系列年鑑已開始預購,網址http://www.pida.org.tw/book/books.asp
PIDA六月主辦台北國際光電周之「台灣LED照明展」特別規畫UV/IRLED專區,台灣LED照明聯盟(TLLiA)由隆達所領軍,晶粒大廠-晶電、光磊、光鋐、旭明;封裝廠-光寶、億光、台灣半導體照明等公司合力展出,展現台灣LED產業堅強產業鏈。
而連袂參加展現同業跨界合作的廠商,如賀喜、太極光等聯盟成員分別呈現路燈、植物燈等創新應用。
設備商包括:長洛、技鼎、阿瑪光電,以及應用廠商軒豊也將共襄盛舉,合力吸引國外客戶,增加台灣LED產業在國際的商機。電洽:(02)2396-7780轉811梁小姐。
展期中PIDA規畫「LED國際研討會」,深入探討UV/IR技術及車用LED等利基型應用等議題。
電洽:(02)2396-7780轉810楊小姐。參觀者預登網址http://www.optotaiwan.com/PreRegistration.aspx;2015年光電產業系列年鑑已開始預購,網址http://www.pida.org.tw/book/books.asp
技鼎參加半導體展,為佈局光電半導體產業鏈發展,積極投入自有品牌(Premtek)設備開發,專注於快速升降溫製程(RTP)設備領域,應用於高溫退火/擴散(Annealing/Diffusion)、LED/Ⅲ- Ⅴ族半導體合金化-減少歐姆接觸(Ohmic Contact)與LED圖案化基板製作(NPSS)、回熔(Refolw)、閘極介電製程(Gate Dielectric Formation)、多晶矽退火(Poly-Si Annealing),鈦矽化合物/氮化物(Ti Silicide/Nitride)等。
技鼎致力於半導體產業相關設備之代理銷售及應用服務已超過20年,總部位於新竹市科學園區旁德安科技園區一期,另於台中、高雄及上海、西安等均設立銷售及服務據點。
該公司主要合作之國外代理原廠來自美國、韓國、新加坡、加拿大及歐洲等逾20家國際大廠。
產品應用領域涵蓋半導體產業之晶圓製造、產品工程分析、封裝、測試與印刷電路板之清潔膠渣、覆晶載板切單與LED之晶粒、封裝與MEMS微機電之工程分析、測試等產業相關應用逾數十項,產品線相當完整。
近年來,不斷累積技術能量,已成功量產一系列2~12吋晶圓(簡易型、桌上型、手動、半自動與全自動)快速升降溫設備,相較於傳統爐管設備,可大幅減少熱預算與縮短製程時間,尤其適用於各尺寸與多片式晶圓生產,乃量產上之一大利器。
技鼎致力於半導體產業相關設備之代理銷售及應用服務已超過20年,總部位於新竹市科學園區旁德安科技園區一期,另於台中、高雄及上海、西安等均設立銷售及服務據點。
該公司主要合作之國外代理原廠來自美國、韓國、新加坡、加拿大及歐洲等逾20家國際大廠。
產品應用領域涵蓋半導體產業之晶圓製造、產品工程分析、封裝、測試與印刷電路板之清潔膠渣、覆晶載板切單與LED之晶粒、封裝與MEMS微機電之工程分析、測試等產業相關應用逾數十項,產品線相當完整。
近年來,不斷累積技術能量,已成功量產一系列2~12吋晶圓(簡易型、桌上型、手動、半自動與全自動)快速升降溫設備,相較於傳統爐管設備,可大幅減少熱預算與縮短製程時間,尤其適用於各尺寸與多片式晶圓生產,乃量產上之一大利器。
技鼎致力於半導體產業相關設備之代理銷售及應用服務已超過20年,總部位於新竹市科學園區旁德安科技園區一期,另於台中、高雄及上海、西安等均設立銷售及服務據點。主要合作之國外代理原廠來自美國、韓國、新加坡、加拿大及歐洲等逾 20家國際大廠。產品應用領域涵蓋半導體產業之晶圓製造、產品工程分析、封裝、測試與印刷電路板之清潔膠渣、覆晶載板切單與LED之晶粒、封裝與MEMS 微機電之工程分析、測試等產業相關應用逾數十項,產品線相當完整。
技鼎表示,為布局光電半導體產業鏈發展,積極投入自有品牌(Premtek)設備開發,專注於快速升降溫製程(RTP)設備領域,應用於高溫退火/擴散(Annealing/ Diffusion)、LED/Ⅲ-Ⅴ族半導體合金化─減少歐姆接觸(Ohmic Contact)與LED圖案化基板製作(NPSS)、回熔(Refolw)、閘極介電製程(Gate Dielectric Formation)、多晶矽退火(Poly-Si Annealing),鈦矽化合物/氮化物(Ti Silicide/Nitride)等。
近年來,不斷累積技術能量,已成功量產一系列2~12吋晶圓(簡易型、桌上型、手動、半自動與全自動)快速升降溫設備,相較於傳統爐管設備,可大幅減少熱預算與縮短製程時間,尤其適用於各尺寸與多片式晶圓生產,乃量產上之一大利器。
至目前為止,設備銷售(含大陸),已有60餘部以上之裝機紀錄,應用產業包括:IC晶圓製造、LED晶粒、Solar Cell晶片生產等,客戶涵蓋國內光電半導體一線領導廠商、大專院校與各級研究單位等,性能上已超越國外進口RTP機台,深獲客戶好評。此外,今年更以「應用於12吋晶圓之快速升降溫製程設備開發計畫」榮獲經濟部SBIR獎勵創新研發補助,成功開發12吋量產機,尤其在多片式LED基板產能,可大幅增加 2.5倍以上。展望未來,技鼎將持續不斷厚植各產品組合、強化設備專業能力,繼續為所有客戶提供最佳的品質與及時服務,協助客戶提升生產效率並降低成本,共創雙贏。
技鼎表示,為布局光電半導體產業鏈發展,積極投入自有品牌(Premtek)設備開發,專注於快速升降溫製程(RTP)設備領域,應用於高溫退火/擴散(Annealing/ Diffusion)、LED/Ⅲ-Ⅴ族半導體合金化─減少歐姆接觸(Ohmic Contact)與LED圖案化基板製作(NPSS)、回熔(Refolw)、閘極介電製程(Gate Dielectric Formation)、多晶矽退火(Poly-Si Annealing),鈦矽化合物/氮化物(Ti Silicide/Nitride)等。
近年來,不斷累積技術能量,已成功量產一系列2~12吋晶圓(簡易型、桌上型、手動、半自動與全自動)快速升降溫設備,相較於傳統爐管設備,可大幅減少熱預算與縮短製程時間,尤其適用於各尺寸與多片式晶圓生產,乃量產上之一大利器。
至目前為止,設備銷售(含大陸),已有60餘部以上之裝機紀錄,應用產業包括:IC晶圓製造、LED晶粒、Solar Cell晶片生產等,客戶涵蓋國內光電半導體一線領導廠商、大專院校與各級研究單位等,性能上已超越國外進口RTP機台,深獲客戶好評。此外,今年更以「應用於12吋晶圓之快速升降溫製程設備開發計畫」榮獲經濟部SBIR獎勵創新研發補助,成功開發12吋量產機,尤其在多片式LED基板產能,可大幅增加 2.5倍以上。展望未來,技鼎將持續不斷厚植各產品組合、強化設備專業能力,繼續為所有客戶提供最佳的品質與及時服務,協助客戶提升生產效率並降低成本,共創雙贏。
技鼎致力於半導體產業相關設備的代理銷售及應用服務已超
過20年,總部位於新竹市科學園區旁德安科技園區一期,另於高
雄及上海均設立銷售及服務據點,擁有專業之工程師群,提供客
戶快速及高品質的服務;為因應客戶的鼓勵與需求,除了原有半
導體客戶群之外,提供產品與服務領域更已涵蓋印刷電路板、光
電、太陽能及微機電等產業,獲得各業界龍頭廠商採用並給予高
分滿意評價。
技鼎公司主要合作的國外代理原廠來自美國、韓國、新加坡
、加拿大及歐洲等逾20家,產品應用領域涵蓋半導體產業之晶圓
製造、產品工程分析、封裝、測試與印刷電路板之清膠渣、覆晶
載板切單與LED之磊晶、封裝與MEMS微機電之工程分析、測試等
產業相關應用逾幾十項,產品線相當完整,主要產品有:Hanmi
Semiconductor提供半導體封裝後段設備一次買足完整解決方案、
STI提供半導體測試後段Handler之完整解決方案、March先進封裝
製程電漿清洗機、Asymtek高精密自動點膠機、Orthodyne
Electronics全自動粗鋁線/鋁帶銲線機、GE(Phoenix|x-ray)高解析
高放大倍率穿透式CT 3D X-Ray檢查機、EPM工程分析用記憶體測
試機、Verigy V50多功能IC測試系統、SPEA提供MEMS微機電完整
測試解決方案、Xandex晶圓測試用之電動式及氣動式墨水匣、
Fine精密鑽石切割刀、DouYee金線/銅線高品質銲針…等產品。
多年來,技鼎與業界長期緊密合作,深切了解到客戶的某些
需求是無法以現有代理產品組合來滿足,身為客戶完整解決方案
的提供者,近年來致力於開發自有品牌/自有產品以提供客戶更好
的解決方案,目前已開發出一系列手動、半自動與全自動、雙製
程腔體快速升降溫系統,適用於2吋至12吋晶圓,在台灣已有30部
以上之裝機紀錄,涵蓋半導體晶圓製造、LED磊晶、Solar Cell生產
與學校研究單位等領域。
展望未來,該公司將持續不斷的厚植產品組合、強化專業能
力,繼續為技鼎的所有客戶提供最佳品質與及時的服務,協助客
戶提升生產效率並降低成本,共創雙贏。
過20年,總部位於新竹市科學園區旁德安科技園區一期,另於高
雄及上海均設立銷售及服務據點,擁有專業之工程師群,提供客
戶快速及高品質的服務;為因應客戶的鼓勵與需求,除了原有半
導體客戶群之外,提供產品與服務領域更已涵蓋印刷電路板、光
電、太陽能及微機電等產業,獲得各業界龍頭廠商採用並給予高
分滿意評價。
技鼎公司主要合作的國外代理原廠來自美國、韓國、新加坡
、加拿大及歐洲等逾20家,產品應用領域涵蓋半導體產業之晶圓
製造、產品工程分析、封裝、測試與印刷電路板之清膠渣、覆晶
載板切單與LED之磊晶、封裝與MEMS微機電之工程分析、測試等
產業相關應用逾幾十項,產品線相當完整,主要產品有:Hanmi
Semiconductor提供半導體封裝後段設備一次買足完整解決方案、
STI提供半導體測試後段Handler之完整解決方案、March先進封裝
製程電漿清洗機、Asymtek高精密自動點膠機、Orthodyne
Electronics全自動粗鋁線/鋁帶銲線機、GE(Phoenix|x-ray)高解析
高放大倍率穿透式CT 3D X-Ray檢查機、EPM工程分析用記憶體測
試機、Verigy V50多功能IC測試系統、SPEA提供MEMS微機電完整
測試解決方案、Xandex晶圓測試用之電動式及氣動式墨水匣、
Fine精密鑽石切割刀、DouYee金線/銅線高品質銲針…等產品。
多年來,技鼎與業界長期緊密合作,深切了解到客戶的某些
需求是無法以現有代理產品組合來滿足,身為客戶完整解決方案
的提供者,近年來致力於開發自有品牌/自有產品以提供客戶更好
的解決方案,目前已開發出一系列手動、半自動與全自動、雙製
程腔體快速升降溫系統,適用於2吋至12吋晶圓,在台灣已有30部
以上之裝機紀錄,涵蓋半導體晶圓製造、LED磊晶、Solar Cell生產
與學校研究單位等領域。
展望未來,該公司將持續不斷的厚植產品組合、強化專業能
力,繼續為技鼎的所有客戶提供最佳品質與及時的服務,協助客
戶提升生產效率並降低成本,共創雙贏。
半導體設備代理商技鼎科技於SEMICON展中除創新自有品牌產品
發表,多項來自各國的機台也在此次展覽中出現。
技鼎主要合作的國外代理原廠來自美國、南韓、新加坡、加拿大
及歐洲等逾二十家,產品應用領域涵蓋半導體產業之晶圓製造、
產品工程分析、封裝、測試與印刷電路板之清膠渣、覆晶載板切
單與LED之磊晶、封裝與MEMS微機電之工程分析、測試等產業相
關應用逾幾十項,產品線相當完整,主要包括 Hanmi
Semiconductor提供半導體封裝後段設備一次買足完整解決方案、
STI提供半導體測試後段Handler之完整解決方案、March先進封裝
製程電漿清洗機、Asymtek高精密自動點膠機、Orthodyne
Electronics全自動粗鋁線/鋁帶銲線機、GE(Phoenix|x-ray)高解析高
放大倍率穿透式CT 3D X-Ray檢查機、EPM工程分析用記憶體測
試機、Verigy V50多功能IC測試系統、SPEA提供MEMS微機電完整
測試解決方案、Xandex晶圓測試用之電動式及氣動式墨水匣、
Fine精密鑽石切割刀、DouYee金線/銅線高品質銲針等產品。
在世貿一館的SEMICON展攤位號碼586,技鼎公司展出產品有
Premtek RTP-381A全自動單腔體快速升降溫製程設備、Asymtek
S-920N全自動高精度點膠機搭配DJ-9500獨家噴膠閥、March Flex
TRAK-CD 全自動電漿清洗設備、Verigy V50多功能IC測試系統,
適用於Digital, Mixed Signal 及Analog ICs。
發表,多項來自各國的機台也在此次展覽中出現。
技鼎主要合作的國外代理原廠來自美國、南韓、新加坡、加拿大
及歐洲等逾二十家,產品應用領域涵蓋半導體產業之晶圓製造、
產品工程分析、封裝、測試與印刷電路板之清膠渣、覆晶載板切
單與LED之磊晶、封裝與MEMS微機電之工程分析、測試等產業相
關應用逾幾十項,產品線相當完整,主要包括 Hanmi
Semiconductor提供半導體封裝後段設備一次買足完整解決方案、
STI提供半導體測試後段Handler之完整解決方案、March先進封裝
製程電漿清洗機、Asymtek高精密自動點膠機、Orthodyne
Electronics全自動粗鋁線/鋁帶銲線機、GE(Phoenix|x-ray)高解析高
放大倍率穿透式CT 3D X-Ray檢查機、EPM工程分析用記憶體測
試機、Verigy V50多功能IC測試系統、SPEA提供MEMS微機電完整
測試解決方案、Xandex晶圓測試用之電動式及氣動式墨水匣、
Fine精密鑽石切割刀、DouYee金線/銅線高品質銲針等產品。
在世貿一館的SEMICON展攤位號碼586,技鼎公司展出產品有
Premtek RTP-381A全自動單腔體快速升降溫製程設備、Asymtek
S-920N全自動高精度點膠機搭配DJ-9500獨家噴膠閥、March Flex
TRAK-CD 全自動電漿清洗設備、Verigy V50多功能IC測試系統,
適用於Digital, Mixed Signal 及Analog ICs。
技鼎致力於半導體產業相關設備之代理銷售及應用服務已超
過20年,總部位於新竹市科學園區旁德安科技園區一期,另於高
雄及上海均設立銷售及服務據點。主要合作的國外代理原廠來自
美國、韓國、新加坡、加拿大及歐洲等逾20家大廠。產品應用領
域涵蓋半導體產業之晶圓製造、產品工程分析、封裝、測試與印
刷電路板之清潔膠渣、覆晶載板切單與LED之晶粒、封裝與MEMS
微機電之工程分析、測試等產業相關應用逾數十項,產品線相當
完整。
為因應市場發展趨勢,技鼎積極投入自有品牌(Premtek)設
備開發,專注於快速升降溫製程(RTP)設備領域,應用於高溫
退火/擴散(Annealing/Diffusion)、LED/Ⅲ-Ⅴ族半導體合金化-
減少歐姆接觸(Ohmic Contact)、回熔(Refolw)、閘極介電製
程(Gate Dielectric Formation)、多晶矽退火(Poly-Si Annealing)
,鈦矽化合物/氮化物(Ti Silicide/Nitride)等。
近年來,不斷累積研發能量,目前已成功開發出一系列2~12
吋晶圓(簡易型、桌上型、手動、半自動與全自動)快速升降溫
設備,相較於傳統爐管設備,可大幅減少熱預算與縮短製程時間
,乃量產廠生產上之一大利器,尤其適用於各尺寸與多片式的晶
圓。至目前為止,在台灣已有30餘部以上之裝機紀錄,領域涵蓋
了IC晶圓製造、LED晶粒、Solar Cell晶片生產等,客戶涵蓋國內光
電半導體一線領導廠商、大專院校與各級研究單位等,性能上已
超越國外進口RTP機台,深獲客戶好評。今年度更以「應用於12
吋晶圓之快速升降溫製程設備開發計畫」榮獲經濟部SBIR獎勵創
新研發補助,藉以提升國內設備廠商在大尺寸RTP熱製程設備之
核心技術能力與製程設備之自給率。
展望未來,技鼎將持續不斷的厚植產品組合、強化設備專業
能力,繼續為所有客戶提供最佳的品質與及時服務,協助客戶提
升生產效率並降低成本,共創雙贏。技鼎參加國際半導體展C586
攤位,展出新產品。
過20年,總部位於新竹市科學園區旁德安科技園區一期,另於高
雄及上海均設立銷售及服務據點。主要合作的國外代理原廠來自
美國、韓國、新加坡、加拿大及歐洲等逾20家大廠。產品應用領
域涵蓋半導體產業之晶圓製造、產品工程分析、封裝、測試與印
刷電路板之清潔膠渣、覆晶載板切單與LED之晶粒、封裝與MEMS
微機電之工程分析、測試等產業相關應用逾數十項,產品線相當
完整。
為因應市場發展趨勢,技鼎積極投入自有品牌(Premtek)設
備開發,專注於快速升降溫製程(RTP)設備領域,應用於高溫
退火/擴散(Annealing/Diffusion)、LED/Ⅲ-Ⅴ族半導體合金化-
減少歐姆接觸(Ohmic Contact)、回熔(Refolw)、閘極介電製
程(Gate Dielectric Formation)、多晶矽退火(Poly-Si Annealing)
,鈦矽化合物/氮化物(Ti Silicide/Nitride)等。
近年來,不斷累積研發能量,目前已成功開發出一系列2~12
吋晶圓(簡易型、桌上型、手動、半自動與全自動)快速升降溫
設備,相較於傳統爐管設備,可大幅減少熱預算與縮短製程時間
,乃量產廠生產上之一大利器,尤其適用於各尺寸與多片式的晶
圓。至目前為止,在台灣已有30餘部以上之裝機紀錄,領域涵蓋
了IC晶圓製造、LED晶粒、Solar Cell晶片生產等,客戶涵蓋國內光
電半導體一線領導廠商、大專院校與各級研究單位等,性能上已
超越國外進口RTP機台,深獲客戶好評。今年度更以「應用於12
吋晶圓之快速升降溫製程設備開發計畫」榮獲經濟部SBIR獎勵創
新研發補助,藉以提升國內設備廠商在大尺寸RTP熱製程設備之
核心技術能力與製程設備之自給率。
展望未來,技鼎將持續不斷的厚植產品組合、強化設備專業
能力,繼續為所有客戶提供最佳的品質與及時服務,協助客戶提
升生產效率並降低成本,共創雙贏。技鼎參加國際半導體展C586
攤位,展出新產品。
半導體產業相關設備代理銷售及應用服務商技鼎科技,總部位於
新竹市科學園區旁德安科技園區一期,高雄及上海均設立銷售及
服務據點。主要合作的國外代理原廠來自美國、南韓、新加坡、
加拿大及歐洲等逾二十家廠商,產品應用領域涵蓋半導體產業晶
圓製造、產品工程分析、封裝、測試與印刷電路板清潔膠渣、覆
晶載板切單與LED磊晶、封裝與MEMS微機電工程分析、測試等相
關應用逾數十項相當完整的產品線。
近年因應市場發展趨勢,技鼎積極投入自有品牌Premtek設備開發
,專注在快速升降溫製程RTP設備領域,該設備應用於高溫退火
/擴散(Annealing/diffusion)、LED/Ⅲ-Ⅴ族半導體合金化減少歐姆接
觸(Ohmic Contact)、回熔(Refolw)、閘極介電製程(Gate Dielectric
Formation)、多晶矽退火(Poly–Si Annealing),鈦矽化合物/氮化物(
Ti Silicide / Nitride)等。由於不斷累積研發能量,目前已開發出一系
列2~12吋晶圓(簡易型、桌上型、手動、半自動與全自動)快速升降
溫設備,相較於傳統爐管設備,大幅減少熱預算與縮短製程時間
;適用於各尺寸與多片式的晶圓對量產廠生產上有相當的助益。
至目前為止,台灣有三十餘部以上之裝機紀錄,領域涵蓋了IC晶
圓製造、LED晶粒、Solar Cell晶片生產等,客戶涵蓋國內光電半導
體一線領導廠商、大專院校與各級研究單位等。
為深化RTP技術領域,近來與國內學術研究機構合作如工研院電
子所、國研院,台大,長庚大學等,聚焦在IC晶圓熱擴散均溫製
程,藍光、四元LED磊晶退火製程,Solar Cell硒化製程等,在均
溫性、升降溫速率及不同材料熱製程參數上獲得廠商驗證。針對
機台開發,技鼎研發團隊在關鍵加熱腔體設計、溫控系統與均溫
調校技術方面,掌握自主開發與設變能力。今年度以應用於12吋
晶圓之快速升降溫製程設備開發計畫榮獲經濟部SBIR獎勵創新研
發補助,用來提升國內設備廠商在大尺寸RTP熱製程設備之核心
技術能力與製程設備之自給率。 半導體展,技鼎位於586號攤位
,提供產品詳細資料並有相關人員備詢。
新竹市科學園區旁德安科技園區一期,高雄及上海均設立銷售及
服務據點。主要合作的國外代理原廠來自美國、南韓、新加坡、
加拿大及歐洲等逾二十家廠商,產品應用領域涵蓋半導體產業晶
圓製造、產品工程分析、封裝、測試與印刷電路板清潔膠渣、覆
晶載板切單與LED磊晶、封裝與MEMS微機電工程分析、測試等相
關應用逾數十項相當完整的產品線。
近年因應市場發展趨勢,技鼎積極投入自有品牌Premtek設備開發
,專注在快速升降溫製程RTP設備領域,該設備應用於高溫退火
/擴散(Annealing/diffusion)、LED/Ⅲ-Ⅴ族半導體合金化減少歐姆接
觸(Ohmic Contact)、回熔(Refolw)、閘極介電製程(Gate Dielectric
Formation)、多晶矽退火(Poly–Si Annealing),鈦矽化合物/氮化物(
Ti Silicide / Nitride)等。由於不斷累積研發能量,目前已開發出一系
列2~12吋晶圓(簡易型、桌上型、手動、半自動與全自動)快速升降
溫設備,相較於傳統爐管設備,大幅減少熱預算與縮短製程時間
;適用於各尺寸與多片式的晶圓對量產廠生產上有相當的助益。
至目前為止,台灣有三十餘部以上之裝機紀錄,領域涵蓋了IC晶
圓製造、LED晶粒、Solar Cell晶片生產等,客戶涵蓋國內光電半導
體一線領導廠商、大專院校與各級研究單位等。
為深化RTP技術領域,近來與國內學術研究機構合作如工研院電
子所、國研院,台大,長庚大學等,聚焦在IC晶圓熱擴散均溫製
程,藍光、四元LED磊晶退火製程,Solar Cell硒化製程等,在均
溫性、升降溫速率及不同材料熱製程參數上獲得廠商驗證。針對
機台開發,技鼎研發團隊在關鍵加熱腔體設計、溫控系統與均溫
調校技術方面,掌握自主開發與設變能力。今年度以應用於12吋
晶圓之快速升降溫製程設備開發計畫榮獲經濟部SBIR獎勵創新研
發補助,用來提升國內設備廠商在大尺寸RTP熱製程設備之核心
技術能力與製程設備之自給率。 半導體展,技鼎位於586號攤位
,提供產品詳細資料並有相關人員備詢。
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