愛迪亞GASSMITH系列 淨化半導體廢氣

愛迪亞科技（ICS）總經理譚鳳家表示，半導體製程中，廢氣處理是重要的一環，今年配合半導體展所展出的「GASSMITH系列—乾吸附式Dry Scrubber」不僅能有效淨化製程所產生的有毒氣體，更能降低成本、避免產生粉塵。

她說，GASSMITH GS-400使用PLC與觸控面板介面設計，採取雙槽式設計，即使更換反應器，也不需要停止產線，其副產物「固態鹽類」為無毒性，可直接排放，並且處理不同流量的多樣氣體，藉由氣體的使用量，達到精準管控運作成本。為滿足客戶需求，持續提供良好服務，該公司亦代理義大利Solvay Solexis氟素油與冷卻液、德國BASF藥劑、韓國GnBS Plasma Scrubber、日本廣田株式會社 SSD&HDD測試機；美國Artesis馬達預知系統、美國BriskHeat的加熱套及AMPRO FILM安普菲科技 SLR低反射膜等。