台灣富創得Oven系列 大廠肯定
台灣富創得工程母公司為美商Fortrend Engineering,在矽谷成立 時,即以自動化晶圓片及光罩傳送系統馳名國際,90年代取得晶圓片 垂直傳送系統全球市占率五成享譽全球。並且完成全球第一部8吋SM IF晶圓盒開關器及機器人手臂SMIFArm,為HPCorvallis建立全球第一 條SMIF生產線,台灣幾乎所有半導體廠均使用該公司的產品。結合Fortrend卓越自動化及溫控技術,台灣富創得成功研發SIO-3 00-200(最高可達250度C)系列Oven。近年半導體產業受到韓國廠商快速成長而產生的衝擊,國內外企業 無不燃起備戰警示燈,但因核心技術皆掌握於國外廠商,企業顯然有 坐困愁城之危。台灣富創得工程烤箱設計和溫控技術,自主研發Ove n系列「SIO-300-200」,獲得各知名大廠肯定。其450度高溫Oven系 列「SIO-300-450」、專為18吋晶圓設計的潔淨烤箱「SIO-450-200」 ,成為半導體產業最受關注的亮點。副總經理黃元裕表示公司進入烤箱設備時間儘管不長,但憑藉關鍵 技術能力,及不惜投入大量的成本、資源發堀RD人才。以「SIO-300 -450」為例,其潔淨度達到世界最高水平,氣體消耗量只有進口機台 的10%,溫控曲線也優於美日進口設備,在發展3DIC和MEMS核心技術 將扮演關鍵角色。該公司亦配合台積電的450mm晶圓發展計畫開發「 SIO-450-200」潔淨烤箱,最高溫度250度,未來將進一步投入SIO-4 50-450 PI Oven系統開發,朝450度高溫Oven發展。黃元裕表示台灣多數半導體設備商擁有完善製程技術,若結合公司 的精密自動控制技術和整合能力,可在最短時間,以最少研發成本, 和客戶共同推出最優良產品,爭取市場先機。台灣富創得研發設備性能和價格皆具競爭力,數年內便主導台灣高 端oven的主流市場,取代進口設備,即使國內外經濟景氣前景似乎還 未明朗的情況下,該公司還能維持穩定成長。