新應材 展示大型基板用光阻劑

新應材公司日前在「台灣平面顯示器材與元件產業協會（TDMDA）」會員聯誼暨與面板業者交流會中 ，展示「大型基板用TFT-LCD光阻劑」研發成果， 分享主導性新產品開發心得。新應材表示，隨著TFT-LCD面板大型化， 勢必要面對曝光特性時產生效益的問題，因此光阻劑也會被要求更高感度，加上尺寸變大後，容易因基板翹曲，使的烘烤處理困難，連帶影響膜厚、尺寸均一性、濕式蝕刻時的密著性、耐乾式蝕刻性降低等問題；再者，為降低溫度依存性，低溫烘烤的光阻劑實有開發的必要性。新應材「大型基板用TFT-LCD光阻劑」 計畫主持人郭光埌博士表示，光阻材料開發及量產技術是電子及光電產業的基礎。大尺寸基板光阻未來塗佈所面臨的主要重點在於：維持或增加基板的生產率（Throughput）、維持光阻塗佈的均勻度。該計畫執行獲得結論，成功突破過去由美國、日本寡占的市場；第一次由國內廠商自行研發並可適用於大型世代的TFT-LCD正型光阻劑，亦有實際量產實績；掌握正型光阻劑的核心開發技術，未來可朝向半導體領域發展。新應材於2003年9月成立，短短六年間取得國內大廠訂單，分別穩定供應瀚宇彩晶、統寶光電、元太科技等大廠光阻，本著深耕本土企業的理念，以合理的價格、穩定的品質及優質的服務，提供面板產業中不可或缺的關鍵上游材料（光阻劑及相關化學品）。（曹松清）