SEMICON　漢民與東京電子合展　節能出發 ｜漢民科技

本士最大半導體與平面顯示器設備商漢民科技，與合作夥伴TEL(

東京電子)即將於9月9日到9月11日在台北世貿開展的SMICON

TAIWAN 2008合展，今年度的攤位設計結合『環保與節能』的議

題。

與漢民合作超過二十年的TEL(東京電子)，為全球第二大半導體設

備商，除了對於先進製程與設備開發不遺餘力外，更關注『環境

、健康與工安』等議題，從『節能』出發，研發出有效降低水、

空氣、化學品與電力使用的方案，以祈在研發先進製程與設備的

同時，有效控制並降低其對於環境與人類造成的影響，解決方案

將同時與此次展覽中展出。

此外，由漢民投資超過10年的漢辰科技 (AIBT)以及漢民微測(HMI)

兩家公司，在9月10日，分別將以『Low Energy Implant Era』與『

Yield Enhancement』為主題，邀請台灣、美國、日本、韓國、新

加坡等地的重量級專家，在台北國際會議中心(TICC)三樓舉行技術

研討會，向與會來賓發表專題，並分享寶貴經驗；關鍵奈米世代

，低能量離子佈植的超淺接合(USJ)與電子束缺陷檢測等技術，尤

其令市場矚目。