翔準先進光罩購買Toshiba機台 預計 6月量產0.13微米光罩

鉅亨網記者王志煌／新竹科學園區． 4月 6日 04/06 14:07

翔準先進光罩斥資新台幣 4-5億元，上個月底引進

Toshiba 最先進的EBM 3500機台，目前正積極進行裝機

作業，預計 5月中完成測試片， 6月底開始量產0.13微

米光罩及 0.1微米光罩的研發。

翔準先進光罩總經理陳于津表示，包括台積電、聯

電、華邦等台灣的大半導體廠已陸續進入0.15及0.13等

先進製程，光罩製造相對地也成為非常重要的關鍵因素

，為了因應客戶的需求，翔準光罩在母公司Photronics

的支援下，上月底已引進 Toshiba的EBM 3500機台。

陳于津指出， 1部EBM 3500的價格高達 4-5億元，

該機台在國內外已被多家半導體大廠使用，包括台積電

、Intel、IBM、韓國三星及德國的Infineon，部份大廠

甚至購買 2台以上，翔準母公司Photronics認為有必要

提供客戶最好的服務，因此也購買 2部，第 1部率先在

台灣使用，另 1部提供美國德州廠使用。

陳于津表示，EBM 3500已於 3月29日進駐翔準，日

本 Toshiba特別派來10位工程技術人員協助裝機，預計

完成裝機後 5月中可開始寫測試片， 6月底可開始進行

0.13微米光罩的量產，以及 0.1微米光罩的研發。