金敏精研明年投入12吋再生晶圓的生產

中國砂輪轉投資的再生晶圓廠金敏精研公司，今年

因 8吋再生晶圓將達滿載月產 6萬片的規模，公司計劃

明年再蓋廠投入12吋再生晶圓的研發生產，這也是台灣

第 1家宣佈生產12吋再生晶圓的公司。

金敏精研是台灣第一家率先使用次世代製程技術製

造再生晶圓的公司，去年10月新廠落成啟用並將產品提

供台積、聯電、華邦及世大等半導體廠選樣後，已於今

年開始出貨，目前月產能為 3萬片，透過製程改善及設

備裝機，產能將逐步提升，預計 9月份產能可達滿載 6

萬片。

金敏精研副總經理謝榮哲表示，公司目前的再生晶

圓全部以 8吋為主，由於第三季就達滿載，因此公司目

前已規劃完成12吋再生晶圓的生產，並計劃在現有廠房

旁興建新廠，預計明年初開始生產，明年底月產 3萬片

12吋再生晶圓。

謝榮哲表示，未來回收的12吋再生晶圓仍以台灣的

12吋晶圓廠為主要貨源，由於金敏精研的矽晶圓加工製

程極適合大尺寸晶圓，未來在12吋再生晶圓的生產技術

應沒有太大的問題。

金敏精研主要專注於硬脆材料的加工，公司的核心

技術來自中國砂輪與工研院機械所共同合作開發的奈米

級鏡面延性輪磨技術，初期應用於 8吋再生晶圓的生產

，未