微影半導體、中勤實業 獲准進駐南部科學園區 |微影半導體

國家科學及技術委員會日前會議通過核准微影半導體、中勤實業於 南部科學園區設立；南科管理局轄下有臺南園區、高雄園區、橋頭園 區、嘉義園區、楠梓園區及屏東園區等6個園區，今（113）年截至8 月20日止，總計引進11家廠商，累計投資金額約新臺幣235億元，園 區有效核准廠商家數為276家。

該管理局表示，微影半導體申請於臺南園區投資設立，主要研發生 產半導體曝光機、塗佈顯影機及檢測設備；微影半導體採用LED光源 及投影鏡頭，可達成0.35微米曝光精度，1：10高焦深，且有節能環 保及高性價比等特色，未來進駐臺南園區後，有助於未來國內半導體 設備產業國產化之發展。

中勤實業申請於高雄園區投資設立分公司，研發生產半導體及光電 產業晶圓用載具、電子及其他高科技產業用載具、晶圓載具智能傳輸 設備及晶圓載具清洗循環服務，進駐高雄園區後，將擴大載具高分子 塑膠材料與智能傳輸設備之研發量能，以高效塑膠材料及生質油萃取 相關技術，提供創新及友善環境之高潔淨材料載具，帶動臺灣綠色循 環經濟發展及產業創新轉型，未來進駐高雄園區後，有助於國內半導 體材料與設備在地化，同時強化南科半導體產業聚落，並提升臺灣全 球關鍵地位。