黃光微影，邁向無毒低碳生產時代|微影半導體

微影半導體引領本土半導體技術革新，創新曝光機優化製程

在半導體技術主導當今科技發展的時代，光學曝光系統作為製程的核心技術，面臨著提高精度和能源效率的挑戰。台灣企業微影半導體以其創新的LED光源投影曝光機，為半導體設備本土化開啟了新篇章。

打破壟斷，提升本土供應能力

半導體產業關鍵的高階光學曝光系統一直由國際巨頭艾司摩爾（ASML）主導。微影半導體作為台灣首家提供光學曝光系統解決方案的公司，打破了這一壟斷局面。隨著半導體製程國產化的推進，微影的領先布局將使台灣廠商受益匪淺，為本土半導體產業注入競爭力。

革新傳統，節能環保高效

傳統的光學微影系統存在耗電高、毒性強、熱膨脹等缺陷。微影半導體採用低耗能、無毒的LED光源，克服了這些問題，大幅提升了製程穩定性和環保性。其核心技術源自歐美，經過整合與自主研發，成為全球首家成功採用LED光源及投影鏡頭的企業。

AI驅動，優化製程

微影的技術平台採用AI洞察平台和自動化多波長LED模型，徹底改變了半導體黃光生產平台。創新的整合解決方案使晶片製程更加簡單高效，更具環保性。其低碳設備製造技術和AI集群工具，讓客戶只需簡單操作，即可完成曝光過程，並自動蒐集數據以建立大型語言模型（LLM），優化製程。

領先布局，展望未來

目前，微影已在南科園區與客戶進行樣機測試，並計畫3年內完成募資，2027年掛牌興櫃。其產品涵蓋曝光機、塗佈顯影機及檢測機，能夠為黃光段製程提供完整的解決方案。展望未來，微影將繼續突破LED光源技術，完善技術平台，並拓展國際市場影響力，引領全球半導體製造的低碳革命。