太極旗下盛新4吋SiC開始送樣 年底進入量產階段

太極 (4934-TW) 今 (9) 日代子公司盛新材料宣布，目前 4 吋半絕緣碳化矽 (SiC) 基板正送樣給台灣、日本、美國客戶進行驗證，若驗證完成，預計年底前進入量產階段。

太極指出，碳化矽基板通常分為導電型 (N 型) 與半絕緣型 (SI 型)，前、後者分別用於電動車功率元件、5G 通訊功率放大器，盛新則具備 4-6 吋 N 型及 SI 型碳化矽晶體技術，目前 4 吋 SI 型基板已具備量產能力。

盛新目前共有 16 台長晶爐，其中 1 台是與集團母公司廣運 (6125-TW) 共同研發，每月有效產量約 400 片，目前客戶涵蓋台、日、美等多地區，也積極進行認證或進入試產階段。

太極旗下盛新材料碳化矽 (SiC) 半絕緣型 (SI) 基板。(圖: 太極提供)

太極旗下盛新材料碳化矽 (SiC) 半絕緣型 (SI) 基板。(圖: 太極提供)

太極補充，碳化矽基板進入量產前，須經過三階段測試驗證程序，通常為期一年，第一階段為送樣測試、第二階段為試產、第三階段則進入每月百片以上的量產規模測試，且通常在進入第二階段測試時，客戶便會提前預定產能。

盛新從自製晶種、掌握原料到維持晶態穩定，甚至是缺陷修補、電性調控、晶體缺陷檢測分析等技術，皆為自主研發，最終產出碳化矽晶錠、基板，同時，透過採用與廣運共同研發的碳化矽長晶爐，除了可有效降低設備投資，也達到保護營業機密和快速量產的目標。

盛新在大尺寸碳化矽長晶方面，已掌握 6 吋晶錠從熱場模擬、材料、製程的擴晶技術，未來將直接切入 6 吋碳化矽 (SiC) 基板，成為台灣首家可量產碳化矽的專業廠商。

盛新材料成立 2020 年 6 月，目前資本額 4.3 億元，太極持股 55%、廣運持股 8.6%、集團員工持股 24%，主要產品為第三代半導體碳化矽。