獲半導體大廠肯定 暉盛營收躍升 |暉盛科技

電漿設備大廠－暉盛科技，挾優越電漿製程開發能力，近年來布局產業有成，成功成為美系半導體及行動裝置大廠供應鏈，並取得與美系通訊大廠合作機會，提供新製程開發解決方案，再加上歐洲及亞洲區訂單持續放量，公司整體營收將續創新高。

暉盛科技總經理許嘉元博士表示，暉盛所生產的批次式電漿清洗機，採用專利高密度電漿技術，因高產能、具各式基板、各種製程適用性以及低運作成本等特點受到青睞，讓暉盛成為封裝電漿清洗機的主流品牌。

此外，產業的自動化生產逐漸提升為智慧生產，包括符合工業4.0的設計框架，提升到可遠端控制及數據收集。目前暉盛推出的連續型電漿清洗機，可符合全自動化產線需求，同時可獲得較佳的清潔效果及均勻度。

安規部分，不僅獲取TUV認證，在機械設計及電控設計上，亦符合IEC及SEMI等規範。連續式設計可串接上下游，支援標準介面及通訊協議，包含SEMI E84、SMEMA，在控制及資料收集方面可與MES╱CIM連線進行Full-Control，擁有多種通訊協定可接續各產業CIM系統，更符合智慧製造的工業4.0未來，也將成為下一波電漿製程設備主流。

許嘉元博士指出，在半導體封裝上，暉盛已掌握FOWLP扇出形晶圓級封裝關鍵技術，可提供FOWLP清洗解決方案；而在電路板上，暉盛同步成功開發出高效能批次式、連續式及捲對捲式電漿去膠渣機，不僅蝕刻速率可提升3倍，捲對捲生產速度更高達5m/min，同為業界最高，而該設備也可提供MSAP等極細線路製造所需要的hand-free、高蝕刻速率及高均勻度的解決方案，其中捲對捲電漿設備已成為狂銷日本FPC大廠的熱門設備。