穩懋半導體砷化鎵晶圓廠啟用 2001年全產能 1萬片 6吋晶圓

穩懋半導體去年12月動土興建，今日舉行晶圓廠落

成啟用，者是領先同業跨入 6吋晶圓廠製造服務，預計

明年 3月便開始進入量產，2001年全產能將達 1萬片以

上的6吋晶圓。

穩懋半導體是全球首座 6吋晶圓專業生產砷化鎵的

晶圓廠，其無塵室區域超過 2萬平方英尺，滿載產能每

年約可量產10萬片 6吋晶圓，該公司自動化設備程度可

超過 80%，遠超過其他業者的 30%。

今日在開幕會場中展出一片 6吋2微米InGaPHBT

MMIC晶圓及6吋0.5微米pHEMT，另外也展示大尺寸 GaAs

晶圓製造上的晶圓晶背全套製程技術，一片 6吋晶圓厚

度僅有 100微米，領先台灣其他同業推出此製程技術。

穩懋半導體總經理吳展興表示，目前生產線日漸成

熟，也陸續接受客戶技術及品質驗證，計劃明年 3月開

始量產，2001年全年產能將可達到1萬片6吋晶圓，並在

2002年年底前快速提昇產能，屆時將可達到3萬片6吋晶

圓產出，2004年年底前完成10萬片 6吋晶圓目標。