公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I639886專利

1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:

光罩及光罩承載平台的維護方法

2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:107/11/01

3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 103,280

4.其他應敘明事項:

本發明提供一種光罩，其可置放於曝光裝置中的光罩承載平台上，此光罩包括一

基板以及一反射結構。基板包括一主表面與至少一側壁，且主表面與側壁相接，

其中主表面包括一圖案區以及一周邊區，周邊區設置於圖案區的一外側。反射結

構至少設置於側壁表面或設置於主表面之周邊區。