公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I530987專利

1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:

圖案形成方法

2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:105/04/21

3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$41,200

4.其他應敘明事項:

一種圖案形成方法，包括下列步驟。提供晶圓，晶圓包括多個晶圓內部晶粒與多

個晶圓邊緣晶粒。在各晶圓內部晶粒上形成第一圖案，且在各晶圓邊緣晶粒上形

成第二圖案，其中第一圖案的形成方法包括進行至少兩次曝光製程，第二圖案的

形成方法包括進行上述至少兩次曝光製程中的至少一次，且形成第二圖案所進行

的曝光製程次數少於形成第一圖案所進行的曝光製程次數。