半導體業 減碳推手 暉盛 先進電漿技術驅動綠色製造 |暉盛科技

在淨零碳排與ESG永續浪潮下，半導體製程升級不再只是效率與良 率的競逐，更是企業責任與環境使命的實踐。

暉盛科技（7730）身為電漿應用設備領域的指標品牌，以先進電漿 技術驅動綠色製造，成為半導體產業減碳轉型的重要推手。

半導體、IC載板及PCB製程長期仰賴濕式處理，耗用大量化學藥劑 與水資源且良率受限，暉盛以乾式電漿表面處理解決方案，大幅減少 耗材與排放，同時突破製程瓶頸，在先進封裝與細線路清潔展現高效 低損成果。

暉盛科技強調，「暉盛」不僅象徵技術實力，更代表「永續創新」 的信念。其電漿蝕刻方案於ABF基板處理，展現優異的材料選擇性與 能耗控制能力，使綠色製程得以落地實行。

暉盛也積極布局新能源與環保應用，推出以電漿火焰處理為核心的 甲烷裂解產氫技術，將甲烷轉化為固態碳與潔淨氫氣，降低碳排放並 提高能源效率，為氫能經濟提供減碳利器，已獲多家工業企業青睞。

全球AI、5G及HPC持續推升先進封裝需求，暉盛電漿解決方案滿足 Hybrid Bonding、FOPLP等製程對高解析度、低溫低損傷及高可預測 性的要求，並協助客戶兼顧競爭力與永續目標。

在玻璃IC基板、AI晶片封裝及精細蝕刻等前瞻應用上，暉盛與多家 國際大廠展開深度合作，提供關鍵設備並共同開發，為台灣半導體供 應鏈減碳貢獻技術支撐。公司將於SEMICON TAIWAN南港展覽館L-010 0攤位展出最新電漿應用技術。

未來暉盛將持續強化研發及智慧製造整合，打造落地的綠色製程平 台，以創新為引擎、永續為軸心，攜手產業邁向低碳新世代。